空气过滤器是空气洁净技术中重要的环节和主要设备之一，其分类为五级：粗效过滤器主要截流5μm以上悬浮性微粒和10μm以上的降尘性微粒以及各种异物；中效过滤器主要截流1～10μm悬浮性微粒，用于高效过滤器的预过滤器；高中效过滤器用于截流1～5μm悬浮性微粒，作为一般净化系统的末端过滤器；亚高效过滤器用于截流1 μm以下的微粒，作为洁净室的末端过滤器，或高效过滤器的预过滤器；高效过滤器是洁净室主要的末端过滤器，截流0．5μm以下的微粒。